알리오, '세계 최초이자 유일한' 6도 출시

2020년 6월 3일 David Edwards 코멘트 남기기

Alio Industries는 "세계 최초이자 유일한 60도 팁 및 틸트 이동 기능을 갖춘 6자유도 나노 포지셔너"라고 주장하는 제품을 출시했습니다.

Alio Industries는 Angulares Hybrid Hexapod의 60도 팁/틸트 이동이 "단연 시중의 6자유도 포지셔너에서 사용할 수 있는 가장 각도 이동 범위"라고 말합니다.

Angulares는 정밀 교차 롤러 베어링 가이드, 모든 축의 광학 증분 또는 절대 인코더 피드백, 선형 모터 및/또는 서보 볼 스크류 드라이브, 무제한으로 프로그래밍 가능한 도구 중심점 위치 및 좌표 오프셋, 모든 축의 백래시 제로를 특징으로 합니다.

나노 포지셔너는 특히 샘플과 물체의 매우 정확한 위치 지정을 위해 초고해상도 현미경, 계측, 나노리소그래피, 간섭계 및 이미징에 사용됩니다.

이 디자인으로 인해 Angulares는 무제한 XY 이동, 다른 삼각대 모델을 사용하여 208mm까지 늘릴 수 있는 62mm의 Z 이동, 연속 360도 Theta-Z로 60도(+/- 30도)의 팁/틸트 이동, +/- 0.6아크초 미만의 XYZ 양방향 반복성, 최대 100mm/초의 속도 XY 및 Z, 선형 10나노미터 미만, 각도 최소 증분 모션 0.1아크초.

하이브리드 헥사포드(Hybrid Hexapod)는 기존 헥사포드의 고유한 성능 한계를 해결하기 위해 Alio Industries에서 개발했습니다.

Alio의 특허받은 6-DoF 디자인은 직렬 및 병렬 운동학적 구조의 장점을 원활하게 혼합하고 활용하는 동시에 약점을 방지합니다.

Hybrid Hexapod는 기존의 Hexapod 또는 스택형 스테이지 구성보다 훨씬 뛰어난 기능적 다양성, 나노미터 수준의 정확성, 반복성 및 뛰어난 6-DoF 궤적을 제공합니다.

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